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标题
Water Vapor-Impermeable AlON/HfOx Bilayer Films Deposited by Hybrid High-Power Impulse Magnetron Sputtering/Radio-Frequency Magnetron Sputtering Processes
相关领域
高功率脉冲磁控溅射 材料科学 溅射沉积 腔磁控管 溅射 无线电频率 光电子学 双层 薄膜 膜 电气工程 纳米技术 化学 工程类 生物化学
网址
https://www.mdpi.com/1996-1944/17/22/5453/pdf?version=173105...
AI链接 mdpi.com mdpi.com nih.gov nih.govdoi.org
DOI
10.3390/ma17225453 doi
其它 期刊：Materials
作者：Li-Chun Chang; Sheng-En David Lin
出版日期：2024-11-08
求助人
Leon 在 2026-01-11 11:27:55 发布自宁夏，悬赏 10 积分
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