Etching for 0.15-µm-Level Patterns with Low Microloading Effect Using Beam Plasmas Generated by Gas Puff Plasma Sources - 科研通

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标题	Etching for 0.15-µm-Level Patterns with Low Microloading Effect Using Beam Plasmas Generated by Gas Puff Plasma Sources
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1143/JJAP.34.6809
DOI	10.1143/jjap.34.6809 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Tatsuo Oomori; Masakazu Taki; Kazuyasu Nishikawa; Hiroki Ootera Hiroki Ootera 出版日期：2002-10-02
求助人	甜甜钢铁侠在 2026-09-26 15:56:39 发布自安徽，悬赏 10 积分
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