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 High-Performance 3-D Trench Hf 0.4 Zr 0.6 O 2 -Based Ferroelectric Capacitors With Ultra-Low Coercive Field (0.69 MV/cm) via Phase Boundary Engineering 相关领域
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期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：Puqi Hao; Sirui Zhang; Shuaizhi Zheng; Xinpeng Mu; Qiong Yang; et al 出版日期：2026-09-01 |
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