Non-oxygen micro-defects and laser damage resistance of HfO2 films deposited by ion beam sputtering

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标题	Non-oxygen micro-defects and laser damage resistance of HfO2 films deposited by ion beam sputtering
网址	https://doi.org/10.2139/ssrn.5637350
DOI	10.2139/ssrn.5637350 doi
其它	期刊：作者：Gang Hu; Gang Hu; Ming Wei; Weidong Gao; Bo Wang; et al 出版日期：2025-10-22
求助人	魔幻橘子在 2026-03-23 15:44:42 发布自四川，悬赏 10 积分
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