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Modelling of radiofrequency MEMS bulk acoustic wave resonators with Legendre polynomial method
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网址
https://doi.org/10.1121/1.2934932
DOI
10.1121/1.2934932 doi
其它 期刊：The Journal of the Acoustical Society of America
作者：A. Raherison; F. E. Ratolojanahary; Jean-Etienne J. Lefebvre; Lahoucine L. Elmaimouni; T. Gryba
出版日期：2008-05-01
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海风 在 2026-03-12 08:36:02 发布自北京，悬赏 10 积分
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