TEM/FIB Technical Solutions to Electron Beam Induced Radiation Damage to Low K/Ultra Low K Dielectrics in Semiconductor Failure Analysis

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标题	TEM/FIB Technical Solutions to Electron Beam Induced Radiation Damage to Low K/Ultra Low K Dielectrics in Semiconductor Failure Analysis
网址	https://doi.org/10.31399/asm.cp.istfa2012p0542
DOI	10.31399/asm.cp.istfa2012p0542 doi
其它	期刊：ISTFA 2012: Conference Proceedings from the 38th International Symposium for Testing and Failure Analysis 作者：Liu Binghai; Chen Ye; Mo Zhiqiang; Zhao Si Ping; Wang Chue Yuin; Wang Jili 出版日期：2012
求助人	韶复天在 2026-05-08 11:58:01 发布自广东，悬赏 30 积分
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