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标题
Density Functional Theory Study on Gas Reactions of Trimethylaluminum and Hydrogen for Aluminum Layer Growth
网址
https://doi.org/10.1021/acs.cgd.5c00307
DOI
10.1021/acs.cgd.5c00307 doi
其它 期刊：Crystal Growth & Design
作者：Yafei Li; Motoaki Kawase
出版日期：2026
求助人
内向苡 在 2026-05-19 17:22:16 发布自河南，悬赏 10 积分
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