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Effect of isopropyl alcohol, acetic acid and sodium dodecyl sulfate on the etching rate and surface roughness of Z-cut quartz etched by BOE solution
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DOI
10.1109/icept59018.2023.10492422 doi
其它 期刊:2023 24th International Conference on Electronic Packaging Technology (ICEPT)
作者:Dou Guangbin; Zhou Yike; Dong Yide
出版日期:2024-04-12
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