Structure and electrical properties of polysilicon films doped with ammonium tetraborate tetrahydrate

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标题	Structure and electrical properties of polysilicon films doped with ammonium tetraborate tetrahydrate 四水合四硼酸铵掺杂多晶硅薄膜的结构和电学性能相关领域材料科学兴奋剂四水合物冶金复合材料光电子学结晶学晶体结构化学
网址	https://doi.org/10.1088/1674-4926/24030032
DOI	10.1088/1674-4926/24030032 doi
其它	期刊：Journal of Semiconductors 作者：Yehua Tang; Yuchao Wang; Chunlan Zhou; Kefan Wang 出版日期：2024-10-01
求助人	chaohuix 在 2025-08-19 10:18:19 发布，悬赏 10 积分
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