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![]() 溶液生长缺陷转换层在PVT生长4H-SiC大块晶体中TSDs还原中的应用
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期刊:Materials science forum 作者:Naoyoshi Komatsu; Takeshi Mitani; Yuichiro Hayashi; Hiromasa Suo; Tomohisa Kato; et al 出版日期:2019-07-19 |
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