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 The microparticles adhesion and removal dynamics in wafer-scale physical cleaning process 晶圆级物理清洗过程中微粒的粘附和去除动力学
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期刊：Physics of Fluids 作者：Lei Zhang; Xinyu Chai; Yadong Sun; Xing‐Long Chen; Yunlong Zheng 出版日期：2025-02-01 |
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