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标题
Extremely high selective Si1−xGex-film wet etchant generating highly dissolved oxygen via peracetic acid oxidant for lateral gate-all-around FETs with a logic node of less than 3-nm
用于逻辑节点小于3-nm的横向栅极全方位FET的极高选择性Si1-xGex膜湿法蚀刻剂通过过乙酸氧化剂产生高溶解氧
相关领域
材料科学 蚀刻（微加工） 选择性 光电子学 纳米技术 分析化学（期刊） 化学 图层（电子） 催化作用 有机化学
网址
https://doi.org/10.1016/j.cej.2023.146257
DOI
10.1016/j.cej.2023.146257 doi
其它 期刊：Chemical Engineering Journal
作者：Seung‐Jae Lee; Jieun Lee; Changjin Lee; Ji‐Hoon Kim; Ji-Hun Kim; et al
出版日期：2023-09-28
求助人
微笑的安容 在 2025-08-29 14:31:00 发布，悬赏 10 积分
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