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 Investigation on the incorporation of oxygen and thermal stability of HPPMS TiAlCrSiON nanolayer coatings HPPMS TiAlCrSiON纳米涂层的氧掺入和热稳定性研究
相关领域
材料科学
涂层
溅射沉积
纳米压痕
纳米复合材料
溅射
热稳定性
复合材料
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化学工程
纳米技术
薄膜
工程类
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Kirsten Bobzin; T. Brögelmann; N.C. Kruppe; M. Carlet 出版日期：2021-04-28 |
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