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标题
Bias-stress instabilities in low-temperature thin-film transistors made of Al2O3 and ZnO films deposited by PEALD
PEALD沉积Al2O3和ZnO薄膜低温薄膜晶体管的偏应力不稳定性
相关领域
材料科学 原子层沉积 薄膜晶体管 电介质 阈值电压 光刻 光电子学 高-κ电介质 薄膜 阈下斜率 栅极电介质 晶体管 分析化学（期刊） 图层（电子） 纳米技术 电压 电气工程 化学 工程类 色谱法
网址
https://doi.org/10.1016/j.mee.2022.111788
DOI
10.1016/j.mee.2022.111788 doi
其它 期刊：Microelectronic Engineering
作者：Jhonathan Castillo‐Saenz; N. Nedev; E. Martı́nez; Benjamín Valdez; María Isabel Mendivil Palma; et al
出版日期：2022-04-01
求助人
slby 在 2025-08-28 13:35:37 发布，悬赏 10 积分
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