Electron density and temperature of dual-frequency capacitively coupled argon plasma in two-dimensional distribution obtained and studied in experiment

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标题	Electron density and temperature of dual-frequency capacitively coupled argon plasma in two-dimensional distribution obtained and studied in experiment
网址	https://doi.org/10.1116/5.0094293
DOI	10.1116/5.0094293 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science and technology 作者：Jidun Wu; Xijian Xiao; Yanfei Wang; Xiaojiang Huang; Lu Dai 出版日期：2022-08-09
求助人	xiaoniuma 在 2026-10-15 09:48:08 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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