Impact of Unintentional Oxygen Incorporation on Leakage Behavior and Fatigue Endurance of Al 1‐x Sc x N 1‐y O y Ferroelectric Films

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标题	Impact of Unintentional Oxygen Incorporation on Leakage Behavior and Fatigue Endurance of Al 1‐x Sc x N 1‐y O y Ferroelectric Films
网址	https://onlinelibrary.wiley.com/doi/pdf/10.1002/smll.2025097...
DOI	10.1002/smll.202509729 doi
其它	期刊：Small 作者：Siyu Yan; Xuguang Deng; Qizhi Huang; Gaofu Guo; Tiwei Chen; et al 出版日期：2025-09-30
求助人	小冬腊月在 2026-10-13 21:44:57 发布自河北，悬赏 10 积分
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