Environment-friendly chemical mechanical polishing using NaHCO3-activated H2O2 slurry for highly efficient finishing of 4H-SiC (0001) surface

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标题	Environment-friendly chemical mechanical polishing using NaHCO3-activated H2O2 slurry for highly efficient finishing of 4H-SiC (0001) surface
网址	https://doi.org/10.1016/j.jmapro.2023.12.014
DOI	10.1016/j.jmapro.2023.12.014 doi
其它	期刊：Journal of Manufacturing Processes 作者：Yu Shen; Haoxiang Wang; Xiaoguang Guo; Shang Gao 出版日期：2023-12-16
求助人	小雨木木在 2026-09-28 11:22:12 发布自北京，悬赏 10 积分
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