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 Improvement of prediction models for dry etching characteristics by introducing plasma parameters as explanatory variables 引入等离子体参数作为解释变量改进干法刻蚀特性预测模型
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Y. Nojiri; Kenta Tanaka; Takumi Shimosuki; Maki Kaneko; Hisataka Hayashi 出版日期：2025-10-21 |
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StevenZhao
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