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Investigation of target erosion profiles sputter-eroded by a low-energy broad ion beam
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溅射 腐蚀 硅 材料科学 离子束 涂层 离子 梁（结构） 离子注入 原子物理学 复合材料 光学 化学 光电子学 纳米技术 薄膜 物理 地质学 有机化学 古生物学
网址
https://doi.org/10.1063/6.0000909
AI链接 scitation.org scitation.org doaj.org uni-hannover.dedoi.org
DOI
10.1063/6.0000909 doi
其它 期刊：AIP Advances
作者：Wjatscheslaw Sakiew; Eileen Klocke; Detlev Ristau
出版日期：2021
求助人
wxq 在 2026-01-26 14:15:43 发布自美国，悬赏 10 积分
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