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 Manufacturing and characterization of CMOS-MEMS magnetic field microsensors with isolated cavities 隔离腔CMOS-MEMS磁场微传感器的制作与表征
相关领域
微电子机械系统
表征（材料科学）
CMOS芯片
磁场
纳米技术
材料科学
工程类
领域（数学）
光电子学
机械工程
电气工程
物理
数学
量子力学
纯数学
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| 其它 |
期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Ching‐Liang Dai; Zhang-Li Zhu; Chun-Yi Chang; Cheng-Chih Hsu 出版日期：2024-03-02 |
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