| 标题 |
 Study of flowability effect on self-planarization performance at SOC materials 流动性对SOC材料自平坦化性能影响的研究
相关领域
化学机械平面化
材料科学
图层（电子）
旋涂
碳纤维
复合材料
涂层
纳米技术
复合数
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| 其它 |
期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Huichan Yun; Jin-Hyung Kim; Youjung Park; Yoona Kim; Seulgi Jeong; et al 出版日期：2017-03-27 |
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