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标题
BETTS: bonding, exposing and transferring technique in SU-8 for microsystems fabrication
网址
https://doi.org/10.1088/0960-1317/20/3/035008
DOI
10.1088/0960-1317/20/3/035008 doi
其它 期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering
作者：Carmen Aracil; Francisco Perdigones; J Miguel Moreno; José M Quero
出版日期：2010
求助人
zzk 在 2026-02-27 21:59:48 发布自广东，悬赏 10 积分
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