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 B/N doping and plasma etching: coupling synergistic effects on tribological properties of amorphous carbon films in methane B/N掺杂和等离子体刻蚀对非晶碳薄膜在甲烷中摩擦学性能的耦合协同效应
相关领域
材料科学
甲烷
摩擦学
化学工程
无定形碳
兴奋剂
碳纤维
联轴节（管道）
等离子体
无定形固体
碳膜
薄膜
无机化学
类金刚石碳
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| 其它 |
期刊：Applied Surface Science 作者：Dazhong Wang; Zhongrong Geng; Chen Lin; Fu Wang; Shang Lunlin; et al 出版日期：2025-11-14 |
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