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 Radio frequency magnetron sputtering deposition of low-resistivity and broad-spectral transmission F and Al co-doped ZnO film with mobility exceeding 50 cm2 V−1 s−1 射频磁控溅射沉积迁移率超过50cm2V−1S−1的低电阻率宽光谱透射F和Al共掺杂ZnO薄膜
相关领域
材料科学
电阻率和电导率
兴奋剂
透射率
溅射沉积
薄膜
溅射
光电子学
退火（玻璃）
电子迁移率
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期刊：Optik 作者：Xudong Meng; Huarong Zhang; Xiaobo Zhang; Guoxi Zheng; Xicheng Xie; et al 出版日期：2020-06-11 |
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