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Fabrication of 3D trench PZT capacitors for 256Mbit FRAM device application 相关领域
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期刊: 作者:Junemo Koo; Ji‐Eun Lim; Dong-Chul Yoo; Soon-Oh Park; Hee-Suk Kim; et al 出版日期:2005-01-01 |
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(2025-6-4)