Design and optimization of a multipole-corrected mass analyzing magnet for high-current low-energy ion implantation system

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标题	Design and optimization of a multipole-corrected mass analyzing magnet for high-current low-energy ion implantation system
网址	https://doi.org/10.1007/s40042-026-01564-1
DOI	10.1007/s40042-026-01564-1 doi
其它	期刊：Journal of the Korean Physical Society 作者：Dong-Hwan Kim; Han-Sung Kim; Hyeok-Jung Kwon 出版日期：2026
求助人	好的在 2026-05-20 11:27:49 发布自北京，悬赏 10 积分
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