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 Study on nucleation and dynamic scaling of morphological evolution of ZnO film deposition by reactive magnetron sputtering 相关领域
成核
材料科学
溅射沉积
化学物理
溅射
化学工程
沉积（地质）
增长率
薄膜
纳米技术
热力学
化学
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工程类
几何学
数学
沉积物
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期刊：Acta Physica Sinica 作者：Zhiwen Liu; Gu Jian-Feng; Sun Chengwei; Zhang Qing-Yu 出版日期：2006-01-01 |
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