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 Micro-fabrication of Si-based optomechanical inertial sensors for cryogenic temperatures 硅基低温光机械惯性传感器的微加工
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期刊： 作者：A. Nelson; Felipe Guzmán 出版日期：2021-08-05 |
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仁爱芮
在
2025-08-30 20:45:45 发布，悬赏 20 积分
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