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  Investigation of temperature sensitivity of a MEMS gravimeter based on geometric anti-spring 基于几何反弹簧的MEMS重力仪温度灵敏度研究
相关领域
重力仪
微电子机械系统
材料科学
灵敏度（控制系统）
硅
薄脆饼
有限元法
热的
弹簧（装置）
温度梯度
光电子学
复合材料
机械工程
光学
电子工程
热力学
物理
气象学
工程类
干涉测量
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期刊：Review of Scientific Instruments 作者：Vinod Belwanshi; Abhinav Prasad; K. Toland; Richard Middlemiss; Douglas J. Paul; et al 出版日期：2022-12-01 |
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Miao
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