发布文献求助
已入深夜，您辛苦了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！祝你早点完成任务，早点休息，好梦！
已完结
  • 文献求助详情
标题
Comparative study between wet and dry etching of silicon for microchannels fabrication
相关领域
干法蚀刻 制作 蚀刻（微加工） 基质（水族馆） 材料科学 硅 纳米技术 平版印刷术 微流控 反应离子刻蚀 光电子学 图层（电子） 病理 地质学 海洋学 替代医学 医学
网址
https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of...
DOI
10.1117/12.2506804 doi
其它 期刊：
作者：Giuseppe A. Cirino; Luís A. M. Barea; Ronaldo Domingues Mansano; Patrick Verdonck; Afonso Von Zuben; et al
出版日期：2019-03-04
求助人
WalterWhite 在 2025-10-13 18:55:09 发布自广西，悬赏 20 积分
下载 求助已完成，仅限求助人下载。
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Bulk micromachining of silicon
  2. Deep and vertical silicon bulk micromachining using metal assisted chemical etching
  3. Fabrication of microfluidic devices in silicon and plastic using plasma etching
  4. Design and fabrication of a hybrid nanofluidic channel
  5. Development of reactive ion etching process for deep etching of silicon for micro-mixer device fabri...
  6. Silicon Dry Etching Process for High Topography Sub-micro and Nano-devices
  7. DRY AND WET ETCHING WITH (111) SILICON FOR HIGH-PERFORMANCE MICRO AND NANO SYSTEMS
  8. Micro fabrication of micro fluidic glass chip without clean room condition
  9. Novel plasma enhanced bulk micromachining process for MEMS
  10. A low-cost fabrication route for silicon microchannels and microgratings with flow-enabled polymer s...
  11. A Novel Method for Silicon-Beam Fabrication in Wet Etching
  12. A wet process to etch arrayed vias for through silicon via application of 3D packaging
  13. Study on Silicon Deep Wet Etching Technology for MEMS
  14. Deep etching processes for silicon micro- and nano-machining
  15. Ultra high speed wet etching technology for a silicon wafer process
  16. Wet Etching of Si Micro-Arrays: Experimental and Theoretical Shapes
  17. Research on Fabrication Technology of Micro-pore Array in Silicon Using Electro-chemical Etching
  18. Assembly of Silicon Nitride Channels
  19. Plasma Etching Based Processes for the Fabrication of Micro Structured Linear Guide
　...点击展开更多...　
该求助已完结，感谢关注
如需该文献，请重新发布求助，前往发布
科研通，让科研之路畅通无阻
请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
盆盆完成签到 ，获得积分10
2秒前
王富贵发布了新的文献求助10
5秒前
栗子完成签到，获得积分10
5秒前
大模型的应助被sun采纳，获得10
6秒前
能干的雨完成签到 ，获得积分10
6秒前
Azure完成签到，获得积分10
7秒前
7秒前
拿铁小笼包完成签到，获得积分10
7秒前
7秒前
小蘑菇的应助被CCccCCC采纳，获得10
8秒前
100完成签到，获得积分0
8秒前
梨花弦外雨完成签到，获得积分10
8秒前
9秒前
是多多呀完成签到 ，获得积分10
9秒前
9秒前
10秒前
朴素元珊完成签到，获得积分10
11秒前
12秒前
12秒前
年少丶完成签到，获得积分10
13秒前
13秒前
栗子发布了新的文献求助30
14秒前
nojego完成签到，获得积分10
15秒前
兰榕发布了新的文献求助10
15秒前
16秒前
16秒前
桀桀桀发布了新的文献求助10
17秒前
18秒前
医疗废物专用车乘客完成签到，获得积分10
19秒前
CCccCCC发布了新的文献求助10
20秒前
20秒前
21秒前
22秒前
22秒前
deway发布了新的文献求助10
23秒前
噗噗完成签到 ，获得积分10
23秒前
xxxxxxh发布了新的文献求助10
25秒前
28秒前
28秒前
28秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
SOFT MATTER SERIES Volume 22 Soft Matter in Foods 1000
Zur lokalen Geoidbestimmung aus terrestrischen Messungen vertikaler Schweregradienten 1000
Circulating tumor DNA from blood and cerebrospinal fluid in DLBCL: simultaneous evaluation of mutations, IG rearrangement, and IG clonality 500
Food Microbiology - An Introduction (5th Edition) 500
A Systemic-Functional Study of Language Choice in Singapore 400
Architectural Corrosion and Critical Infrastructure 400
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 内科学 生物化学 物理 计算机科学 纳米技术 遗传学 基因 复合材料 化学工程 物理化学 病理 催化作用 免疫学 量子力学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 4869078
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4160279
关于积分的说明 12901132
捐赠科研通 3914859
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2150072
邀请新用户注册赠送积分活动 1168501
关于科研通互助平台的介绍 1071045
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通