标题 |
Synthesis of hexagonal boron nitride films on silicon and sapphire substrates by low-pressure chemical vapor deposition
低压化学气相沉积法在硅和蓝宝石衬底上合成六方氮化硼薄膜
相关领域
化学气相沉积
蓝宝石
材料科学
硼
化学工程
燃烧化学气相沉积
硅
六方晶系
氮化硅
薄膜
蓝宝石上的硅
氮化硼
光电子学
纳米技术
沉积(地质)
六方氮化硼
无机化学
化学
碳膜
结晶学
光学
有机化学
古生物学
工程类
物理
激光器
生物
绝缘体上的硅
石墨烯
沉积物
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Thin Solid Films 作者:Ranjan Singhal; Elena Echeverria; David N. McIlroy; Raj N. Singh 出版日期:2021-09-01 |
求助人 | |
下载 | 该求助完结已超 24 小时,文件已从服务器自动删除,无法下载。 |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|