标题 |
Bi-Layer nanoimprinting lithography for metal-assisted chemical etching with application on silicon mold replication
金属辅助化学刻蚀的双层纳米印迹光刻及其在硅模复制中的应用
相关领域
材料科学
硅
纳米技术
抵抗
图层(电子)
干法蚀刻
蚀刻(微加工)
平版印刷术
各向同性腐蚀
纳米光刻
制作
光电子学
医学
病理
替代医学
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网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Nanotechnology 作者:W.S. Chen; Yung-Chun Lee 出版日期:2023-10-04 |
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