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  Atomic layer deposition of Y2O3 films using a novel liquid homoleptic yttrium precursor tris(sec-butylcyclopentadienyl)yttrium [Y(sBuCp)3] and water 使用新型液体均容钇前体三（仲丁基环戊二烯基）钇[Y(sBuCp）3]和水的原子层沉积Y2O3薄膜
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| 其它 |
期刊：RSC Advances 作者：Akihiro Nishida; Tsukasa Katayama; Yasutaka Matsuo 出版日期：2023-01-01 |
| 求助人 |
huangtao
在
2025-06-01 09:48:30 发布，悬赏 10 积分
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