Importance of Molds for Nanoimprint Lithography: Hard, Soft, and Hybrid Molds

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标题	Importance of Molds for Nanoimprint Lithography: Hard, Soft, and Hybrid Molds 模具对纳米压印光刻的重要性：硬模具、软模具和混合模具相关领域纳米压印光刻平版印刷术下一代光刻材料科学计算光刻软光刻纳米技术光刻 X射线光刻电子束光刻抵抗多重图案制作纳米光刻光电子学图层（电子）病理替代医学医学
网址	http://downloads.hindawi.com/archive/2016/6571297.pdf
DOI	10.1155/2016/6571297 doi
其它	期刊：Journal of Nanoscience 作者：Byung Seok Kwon; Jong H. Kim 出版日期：2016-06-22
求助人	herdwind 在 2025-05-04 22:52:46 发布自浙江，悬赏 10 积分
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