A Reflective-Type Heterodyne Grating Interferometer for Three-Degree-of-Freedom Subnanometer Measurement

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标题	A Reflective-Type Heterodyne Grating Interferometer for Three-Degree-of-Freedom Subnanometer Measurement 用于三自由度亚纳米测量的反射式外差光栅干涉仪相关领域栅栏干涉测量外差（诗歌）物理衍射光栅光学计算机科学声学
网址	https://doi.org/10.1109/tim.2022.3213005
DOI	10.1109/tim.2022.3213005 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 作者：Junhao Zhu; Guochao Wang; Shengtong Wang; Xinghui Li 出版日期：2022-01-01
求助人	繁荣的从灵在 2025-04-23 19:59:55 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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