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 Force Modeling and Control of SiC Monocrystal Wafer Processing SiC单晶晶片加工过程中的力建模与控制
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期刊：Journal of Manufacturing Science and Engineering-transactions of The Asme 作者：Shujuan Li; Siming Du; Aofei Tang; Robert G. Landers; Yang Zhang 出版日期：2015-12-01 |
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