Design and construction of a two-degree-of-freedom linear encoder for nanometric measurement of stage position and straightness

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标题	Design and construction of a two-degree-of-freedom linear encoder for nanometric measurement of stage position and straightness
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.precisioneng.2009.05.008
DOI	10.1016/j.precisioneng.2009.05.008 doi
其它	期刊：Precision Engineering 作者：Akihide Kimura; Wei Gao; Yoshikazu Arai; Zeng Lijiang 出版日期：2010-01-01
求助人	sxl 在 2026-09-11 16:23:40 发布自北京，悬赏 10 积分
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