Development of an on-machine measurement system with chromatic confocal probe for measuring the profile error of off-axis biconical free-form optics in ultra-precision grinding

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标题	Development of an on-machine measurement system with chromatic confocal probe for measuring the profile error of off-axis biconical free-form optics in ultra-precision grinding
网址	https://doi.org/10.1016/j.measurement.2022.111825
DOI	10.1016/j.measurement.2022.111825 doi
其它	期刊：Measurement 作者：Sheng Wang; Qingliang Zhao 出版日期：2022
求助人	crush_zyd 在 2026-06-24 13:15:07 发布自浙江，悬赏 10 积分
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