| 标题 |
Advanced Damascene integration using selective deposition of barrier metal with Self Assemble Monolayer |
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊:2021 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC) 作者:H. Kawasaki; M. Iwashita; H. Warashina; H. Nagai; K. Iwai; et al 出版日期:2021-07-06 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时,文件已从服务器自动删除,无法下载。 |
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)