A 100 μ m diameter capacitive pressure sensor with 50 MPa dynamic range

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标题	A 100 μ m diameter capacitive pressure sensor with 50 MPa dynamic range
网址	http://stacks.iop.org/0960-1317/26/i=4/a=045009/pdf
DOI	10.1088/0960-1317/26/4/045009 doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Xin Luo; Yogesh B Gianchandani 出版日期：2016-03-07
求助人	踏实麦片在 2026-10-10 19:53:29 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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