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 Plasma deposition—Impact of ions in plasma enhanced chemical vapor deposition, plasma enhanced atomic layer deposition, and applications to area selective deposition 等离子体沉积——离子在等离子体增强化学气相沉积、等离子体增强原子层沉积中的影响，以及在区域选择性沉积中的应用
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：C. Vallée; M. Bonvalot; S. Belahcen; Taguhi Yeghoyan; Moustapha Jaffal; et al 出版日期：2020-04-17 |
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