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标题
Electron-enhanced SiO2 atomic layer deposition at 35 °C using disilane and ozone or water as reactants
以二硅烷和臭氧或水为反应物的35℃电子增强SiO2原子层沉积
相关领域
原子层沉积 二硅烷 分析化学（期刊） 硅 化学 电子 薄膜 材料科学 纳米技术 环境化学 量子力学 物理 有机化学
网址
https://doi.org/10.1116/6.0002726
DOI
10.1116/6.0002726 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Jonas C. Gertsch; Zachary C. Sobell; Andrew S. Cavanagh; Harsono Simka; Steven M. George
出版日期：2023-06-20
求助人
对镜贴花 在 2025-12-31 14:59:34 发布自上海，悬赏 10 积分
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