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Preferential sputtering effects in tantalum nitride thin films
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网址
https://doi.org/10.1016/0040-6090
DOI
10.1016/0040-6090 doi
提醒：求助人提供的doi与AI识别不一致 10.1016/0040-6090(85)90272-x Doi
其它 期刊：Thin Solid Films
作者：C. Palacio; J. M. Sanz; J.M. Martı́nez-Duart
出版日期：1985-02-01
求助人
imaginary 在 2026-02-26 09:58:55 发布自湖北，悬赏 10 积分
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  • 6个月前

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