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 Pre-metal dielectric PE TEOS oxide pitting in 3D NAND: mechanism and solutions 3D NAND中的预金属电介质PE TEOS氧化物点蚀：机理与解决方案
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期刊：Semiconductor Science and Technology 作者：Peizhen Hong; Qiang Xu; Jing-Wen Hou; Mingkai Bai; Zhiguo Zhao; et al 出版日期：2021-12-09 |
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