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标题
A novel patterning control strategy based on real-time fingerprint recognition and adaptive wafer level scanner optimization
基于实时指纹识别和自适应晶圆级扫描仪优化的新型图案化控制策略
相关领域
扫描仪 指纹识别 指纹（计算） 薄脆饼 计算机科学 控制（管理） 人工智能 计算机视觉 工程类 电气工程
网址
https://doi.org/10.1117/12.2297304
DOI
10.1117/12.2297304 doi
其它 期刊：
作者：Hakki Ergun Cekli; Jelle Nije; Alexander Ypma; Vahid Bastani; Dag Sonntag; et al
出版日期：2018-03-13
求助人
柒安 在 2025-12-03 17:19:53 发布自山东，悬赏 20 积分
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