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 Opto-electrical properties and internal stress in Al:ZnO thin films deposited by direct current reactive sputtering 直流反应溅射Al：ZnO薄膜的光电特性和内应力
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期刊：Thin Solid Films 作者：Romain Tuyaerts; Jean‐Pierre Raskin; Joris Proost 出版日期：2019-12-16 |
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