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Multiple-Layer Triangular Defects in 4H-SiC Homoepitaxial Films Grown by Chemical Vapor Deposition 化学气相沉积4H-SiC同质外延薄膜中的多层三角形缺陷
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期刊:Crystals 作者:Yicheng Pei; Weilong Yuan; Ning Guo; Yunkai Li; Xiuhai Zhang; et al 出版日期:2023-07-04 |
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