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Formation of corrugated nano-fuzz tungsten thin film on silicon via helium plasma irradiation
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网址
https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad12ef
DOI
10.35848/1347-4065/ad12ef doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Shuangyuan Feng; Shin Kajita; Ryo Yasuhara; M. Tokitani; Quan Shi
出版日期：2023-12-06
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zhx 在 2026-01-12 18:53:17 发布自浙江，悬赏 10 积分
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