Mechanistic modeling study of atomic layer deposition process optimization in a fluidized bed reactor

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标题	Mechanistic modeling study of atomic layer deposition process optimization in a fluidized bed reactor
网址	https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/doi/10.1116/1.49648...
DOI	10.1116/1.4964848 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者：Chen-Long Duan; Peng-Hui Zhu; Zhang Deng; Yun Li; Bin Shan; et al 出版日期：2016-10-14
求助人	浅笑在 2026-01-29 16:09:41 发布自江苏，悬赏 10 积分
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