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Organometallic carboxylate resists for extreme ultraviolet with high sensitivity
高灵敏度的有机金属羧酸盐极紫外电阻
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期刊:Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS 作者:James Passarelli; Michael Murphy; Ryan Del Re; Miriam Sortland; Jodi Hotalen; et al 出版日期:2015-10-15 |
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